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四氟化碳
  • 四氟化碳
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四氟化碳

【產(chǎn)品分類】：特種氣體

【產(chǎn)品名稱】：四氟化碳

【熔點(diǎn)】：-184℃

【沸點(diǎn)】：-128.1℃

【水溶性】：不溶于水



產(chǎn)品詳情

【外觀與形狀】：無(wú)色、無(wú)臭、不燃的易壓縮性氣體。
【主要用途】：

1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體，用于低溫制冷劑、溶劑、潤(rùn)滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。
2.是微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。
3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。
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【本文標(biāo)簽】： 四氟化碳